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旋片式真空泵

旋片式真空泵主要由泵體(靜子)和轉子組成。在轉子槽中裝有兩塊以上的旋片,有些泵旋片間還裝有彈簧。轉子偏心地裝在泵腔內,其外緣與泵腔頂部表面的間隙爲2~3微米。轉子旋轉時,在離心力等作用下,旋片沿槽作往複滑動並與泵腔內壁始終保持接觸,將泵腔分成兩個或幾個可變容積的工作室。轉子順時針方向旋轉時,與吸氣口相通的吸氣腔容積由零逐漸增大,腔內氣體壓力降低,被抽氣體便從吸氣口源源不斷地吸入。同時,與排氣口相通的排氣腔容積由大變小,吸入腔內的氣體被壓縮,待氣體壓力高于大氣壓力時,推開排氣閥排出大氣,轉子連續轉動,泵便不斷抽氣。

旋片式真空泵
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